Khí dopant

Khí Dopant được sử dụng để thêm các lớp (ion cấy ghép) vào lát bán dẫn để lát bán dẫn sẽ dẫn điện tốt hơn. Arsine/Asen, diborane và phosphine/phốt phát là những loại khí dopant được sử dụng phổ biến nhất. Khí arsine/asen đến từ nguyên tố arsenic/asen, diborane từ boron và phosphine/phốt phát từ phosphorous/phốt pho. Đây là chất khí và nguy hiểm hơn chất rắn vì chúng có thể xâm nhập và vào bên trong cơ thể bạn một cách dễ dàng. Các khí arsine/asen, diborane và phosphine/phốt phát được lưu trữ trong các thùng chứa cũng chứa các dạng lỏng của chúng. Thông thường hầu hết tiếp xúc xảy ra khi hít phải khói, rò rỉ từ thùng chứa có thể là chất lỏng hoặc khí.

Người lao động xếp và dỡ các tấm lát bán dẫn, thay thế bình gas, làm sạch và bảo trì các máy phun ion có thể tiếp xúc với khí độc nên những người khác trong khu vực cũng có nguy cơ bị nhiễm.

Nếu bạn vô tình nuốt chất lỏng dopant, nó có thể được giải phóng trong dạ dày của bạn dưới dạng khí và làm hỏng đường tiêu hóa của bạn.

Các bảng dưới đây bao gồm một số loại khí độc hiện đang lưu hành. Xem Tìm hiểu về hóa chất được sử dụng trong nhà máy của bạn và làm thế nào để tìm kiếm thông tin về khí dopant khác. Xem Danh mục tên hóa chất để tìm tên hóa chất thay thế cho khí dopant.

Ngăn chặn hoặc làm giảm tiếp xúc:

Sử dụng hệ thống thông gió hút khói và thay thế hoặc pha loãng không khí bẩn bằng không khí sạch. Máy cần có ống xả bên trong để không có khí thoát ra (xem Chương 17: Thông gió).
Thiết bị khóa kín được điều khiển từ xa làm giảm khả năng tiếp xúc của người lao động vì khả năng xảy ra tai nạn là rất lớn.
Mang các thiết bị bảo vệ như kính bảo hộ và găng tay chống hóa chất, tạp dề chống bắn hóa chất và mặt nạ phòng độc nhất là khi tiếp xúc trực tiếp với bình gas và các bộ phận của máy phun ion như bơm chân không và nguồn ion (xem Chương 18: Thiết bị bảo vệ cá nhân (PPE)).
Lên kế hoạch ứng phó khẩn cấp bao gồm điều trị sơ cứu và các thiết bị bảo hộ trong trường hợp có sự cố đổ tràn, rò rỉ và vô tình tiếp xúc. Đảm bảo đầy đủ các trang thiết bị cần thiết và bảo quản tốt cho trường hợp ứng phó khẩn cấp tại nơi làm việc và người lao động có thể tiếp cận dễ dàng.
Tất cả các khí dopant đều rất dễ cháy và có thể phát nổ. Các khu vực nơi chúng được lưu trữ và sử dụng phải được giữ thông thoáng và theo dõi chất lượng không khí. Các khu vực đó cũng cần có hệ thốngị báo động, bình chữa cháy, và một kế hoạch ứng phó khẩn cấp khi có hỏa hoạn (xem Chương 11: Hỏa hoạn).

Khí Dopant
	Arsine Asen (arsenic hydride/Asen hydrua, hydrogen arsenide/Hydro asen)	CAS số 7784-42-1
	Diborane (boroethane, boron hydride, diboron hexahydride)	CAS số 19287-45-7
	Phosphine/Phốt phát (hydrogen phosphide/Hydro Phốt phát, phosphorus hydride/Hydrat Phốt pho)	CAS số 7803-51-2
CHÚNG LÀ GÌ? Dopants là khí không màu. Arsine/Asen và phosphine/Phốt phát có mùi khó chịu như mùi tỏi hoặc cá thối. Diborane có mùi ngọt khó chịu. Khi bạn có thể ngửi thấy chúng, có nghĩa là bạn đang tiếp xúc với số lượng đủ lớn gây hại cho bạn
BẠN CÓ LÀM VIỆC VỚI CHÚNG KHÔNG? Dopants được sử dụng trong ngành điện tử, trong quá trình được gọi là phun ion để làm cho lát bán dẫn dẫn điện tốt hơn.
KHI CƠ THỂ CỦA BẠN TIẾP XÚC VỚI CHÚNG DA Chúng có thể gây kích ứng da của bạn. Khi ở dạng khí, chúng không độc hại cho da nhưng nếu bạn chạm vào chất lỏng, bạn sẽ bị bỏng nhanh chóng mặc dù da sẽ cảm thấy lạnh và tê. Hãy xử lý như khi bạn bị bỏng hóa chất. Xem Sơ cứu MẮT Khói của nó có thể gây kích ứng mắt của bạn. Khi nó ở dạng chất lỏng, thì nó thể gây bỏng mắt nghiêm trọng. Xem Sơ cứu. MŨI/PHỔI Khói có thể gây kích ứng mũi, họng và phổi của bạn, gây ho và khò khè. Khi bạn hít những khí này, chúng có thể khiến bạn cảm thấy yếu, chóng mặt, lâng lâng, khó thở và bất tỉnh. Một số dấu hiệu tương tự như “sốt khói kim loại”, cảm giác giống như cảm cúm với sự kết hợp của các yếu tố này: nhức đầu, sốt và ớn lạnh, đau nhức cơ thể, tức ngực và ho. Tiếp xúc với nồng độ cao hơn cũng có thể tạo ra sự tích tụ chất lỏng trong phổi, được gọi là phù phổi. Xem Sơ cứu. MIỆNG/BỤNG Khí Dopant có thể được giải phóng trong dạ dày của bạn và gây tổn thương cho đường tiêu hóa và dẫn đến đau bụng, buồn nôn, nôn và tiêu chảy. Xem Sơ cứu và tìm kiếm sự hỗ trợ của y tế.
KHI BẠN TIẾP XÚC TRONG THỜI GIAN DÀI: Tất cả các dopant có thể gây hại cho gan, thận và hệ thống thần kinh của bạn gây ra yếu cơ, chuột rút cơ bắp và sự phối hợp kém ở các chi. Arsine/Asen giết chết các tế bào hồng cầu (làm loãng máu), dẫn đến thiếu máu. Nếu hít arsine/asen liên tục sẽ dẫn đến nhiều tế bào hồng cầu bị chết và có thể dẫn đến suy thận. Da và mắt trở nên vàng là dấu hiệu nguy hiểm và bạn nên đi khám ngay lập tức. Arsine/Asen có thể gây ung thư da, gan, thận, phổi và bàng quang. Diborane có thể gây hại cho phổi của bạn và gây viêm phế quản mạn tính và các vấn đề về hô hấp. Phosphine/Phốt phát có thể gây hại cho phổi của bạn và gây viêm phế quản mạn tính và các vấn đề về hô hấp. Tiếp xúc với một lượng lớn phosphine/phốt phát cùng một lúc có thể gây ra suy tim và thận. Da và mắt trở nên vàng là dấu hiệu nguy hiểm và bạn nên đi khám ngay lập tức.
NẾU BẠN CÓ NGUY CƠ TIẾP XÚ: Sử dụng cả găng tay cao su tổng hợp và nitrile, tạp dề và bảo vệ mắt/mặt khi thay dầu bơm chân không và bình chứa khí (xem Chương 18: Thiết bị bảo vệ cá nhân (PPE)). Thiết bị này phải được làm sạch hoặc thải bỏ sau khi sử dụng. Sử dụng mặt nã dưỡng khí nếu bạn đang làm sạch nguồn ion, thay đổi máy bơm chân không hoặc thực hiện các công việc bảo trì khác trên máy hoặc nếu bạn đang đặt các bình chứa khí.
THAY THẾ AN TOÀN HƠN: Mono ethyl arsine là một chất thay thế ít độc hơn cho arsine/asen.